Новосибирск: НГТУ, 2005. — 44 с. Учебное пособие составлено на основании Государственного образовательного стандарта высшего профессионального образования. В по-собии описываются технологические процессы получения и очистки кристаллов полупроводников, методы получения окисных слоев кремния. Включено также описание лабораторных работ «Кристаллизационные методы очистки...
Комментарии