Томск: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Эль Контент, 2011. — 96 c.
Освещаются следующие разделы в области создания и исследования объектов наноэлектроники: нанолитография, оптическая литография, УФ-, КУФ-, ЭУФ- диапазоны, литография сканирующими электронными и ионными пучками, оборудование для получения остросфокусированных пучков...
Комментарии