Лекции: Введение. Основные понятия и термины. Параметры и характеристики микросистем. Чувствительные элементы для микросистем. Сенсорные компоненты МСТ. Пьезоэлектрические датчики. Сенсорные компоненты МСТ. Сенсорные компоненты МСТ. Сенсорные компоненты МСТ. Актюаторные элементы МСТ. Микромеханические ключи. Интегральные микрозеркала. Интегральные микродвигатели. Катушки...
Комментарии