Саратов: Изд-во Сарат. ун-та, 2009. 374.с. Глухова О.Е, Гороховский А.В., Жуков Н.Д., Климов Б.Н., Штыков С.Н., Щёголев С.Ю. Книга содержит анализ современных промышленных приложений нанотехнологии, получивших в литературе и официальных документах название «наноиндустрия». Рассмотрены все направления развития отечественной наноиндустрии: организационные, технологические,...
Лекции: Введение. Основные понятия и термины. Параметры и характеристики микросистем. Чувствительные элементы для микросистем. Сенсорные компоненты МСТ. Пьезоэлектрические датчики. Сенсорные компоненты МСТ. Сенсорные компоненты МСТ. Сенсорные компоненты МСТ. Актюаторные элементы МСТ. Микромеханические ключи. Интегральные микрозеркала. Интегральные микродвигатели. Катушки...
Рассматриваются базовых принципов функционирования и
конструирования механических и электромеханических элементов и устройств, реализуемых на микроуровне, а также основные технологии изготовления микроустройств. (Показаны основные маршруты изготовления, используемые в современных производствах)
Комментарии