Зарегистрироваться
Восстановить пароль
FAQ по входу

Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств

  • Файл формата djvu
  • размером 9,34 МБ
  • Добавлен пользователем , дата добавления неизвестна
  • Описание отредактировано
Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств
Справочник. — Москва: Радио и связь, 1991, 528 с.
Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, литографии, сборке и герметизации. Значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектонных устройств.
Для инженерно-технических работников, мастеров и квалифицированных рабочих, занимающихся производством МЭУ.
  • Чтобы скачать этот файл зарегистрируйтесь и/или войдите на сайт используя форму сверху.
  • Регистрация