Зарегистрироваться
Восстановить пароль
FAQ по входу

Рыжиков И.В. Лекции по технологии микро-электронных устройств

  • Файл формата pdf
  • размером 2,39 МБ
Рыжиков И.В. Лекции по технологии микро-электронных устройств
МГУПИ, Россия, Рыжиков И.В., 2012 г., 113 стр.
История развития микро-электронных устройств.
Диэлектрические пленки.
Диффузия.
Методы эпитаксии.
Фотолитографический процесс.
Физико-химические основы процесса ионного легирования.
Плазмо-химическое травление и технология ИМС.
  • Чтобы скачать этот файл зарегистрируйтесь и/или войдите на сайт используя форму сверху.
  • Регистрация

Смотри также

Подробнее

Достанко А.П. и др. Технологические процессы и системы в микроэлектронике: плазменные, электронно-ионно-лучевые, ультразвуковые

  • pdf
Минск: Бестпринт, Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники, 2009, 199 с. Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок области теории, технологии и оборудования для изготовления изделий электронной техники. Особое внимание уделяется технологическим процессам и системам на основе ионно-плазменных и ионно-лучевых разрядных систем. Предназначена для...
  • 8,97 МБ
  • добавлен
  • описание отредактировано
Наверх