Вейко В.П. Лазерные микро- и нанотехнологии в микроэлектронике

Опорный конспект лекций. — Санкт-Петербург: НИУ ИТМО, 2011. — 141 с.Опорный конспект лекций для бакалавров и магистров направлений 200500 "Лазерная техника и лазерные технологии", 200200 "Оптотехника", 223200 "Техническая физика", 200700 "Фотоника и оптоинформатика", 200100 "Приборостроение", а также для студентов специальностей 200201 "Лазерная техника и лазерные технологии", 210401 "Физика и техника оптической связи". Курс также может быть полезен инженерам, ученым, менеджерам, которые интересуются применением лазерных технологий в микроэлектронике, для понимания преимуществ и ограничений использования лазеров в этой области, для расширения и углубления их знаний в области процессов лазерной обработки.Основные области применения лазерных технологий в базовых процессах микроэлектроники
Лазерная литография
Лазерная настройка
Лазерный отжиг
Импульсное лазерное нанесение пленок
Лазерная очистка поверхности
Лазерная обработка тонких пленок (ЛОТП)
Общая концепция ЛОТП
Средства и методы ЛОТП
Лазеры для ЛОТП
Оптические схемы для ЛОТП
Физические процессы формирования топологии тонких пленок (ТП)
Точность и качество ЛОТП
Термические искажения изображений на ТП
Термохимические искажения изображений
Термомеханические процессы в пленках и подложках
Гидродинамические искажения
Газодинамические искажения
Оптические искажения
Основные применения ЛОТП
Технология фотошаблонов
Лазерный синтез дифракционных оптических элементов, CD–дисков
Изготовление оптических шкал, сеток и кодовых масок
Применение лазерного локального переноса пленок
Возможности улучшения процесса лазерной подгонки
Перспективы ЛОТП
Оптимизация процессов лазерной обработки
Возможности улучшения лазерной подгонки
Развитие методов локального лазерного переноса пленок (LIFT)
Объединение активации химических процессов с их локализацией
Преодоление дифракционного предела в ЛОТП