Зарегистрироваться
Восстановить пароль
FAQ по входу

Березин В.М. Методы формирования тонкоплёночных структур

  • Файл формата pdf
  • размером 1,27 МБ
  • Добавлен пользователем , дата добавления неизвестна
  • Описание отредактировано
Березин В.М. Методы формирования тонкоплёночных структур
Учебное пособие. - Челябинск, ЮУрГУ, 2010. – 96 с.
Рассмотрены методы формирования тонких плёнок. Описаны особенности формирования тонких плёнок термовакуумным, ионным, молекулярно-лучевой эпитаксией, химическими и электрохимическими методами.
Учебное пособие предназначено для студентов физического и приборостроительного факультетов, а также может быть полезно аспирантам и специалистам, занимающимся тонкоплёночными технологиями.
  • Чтобы скачать этот файл зарегистрируйтесь и/или войдите на сайт используя форму сверху.
  • Регистрация

Смотри также

Подробнее

Антоненко С.В. Технология тонких пленок

  • pdf
Учебное пособие. -М.: МИФИ, 2008. 104 с. Распознано. Учебное пособие посвящено основам технологических процессов получения тонких пленок, исследованию их свойств, изготовлению и применению изделий из них. Учебное пособие может быть рекомендовано для студентов, специализирующихся в области технологии тонких пленок, обучающихся по специальности «Физика конденсированного вещества»...
  • 1,61 МБ
  • добавлен
  • описание отредактировано
Подробнее

Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок

  • djvu
М.: Техносфера, 2007. — 176 с.: цв. ил. — ISBN 978-5-94836-134-5. В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок, плазмохимических установок для травления тонких пленок и технологических особенностей...
  • 1,44 МБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Подробнее

Бондаренко Б.В. Эмиссия электронов и ионов из твердого тела в вакуум

  • djvu
Учебное пособие.- М.: Издательство МФТИ, 1982.- 83 с. Данное учебное пособие по курсу "Основы вакуумной электроники предназначено для студентов третьего курса факультета физической и квантовой электроники МФТИ в соответствии с учебным планом их подготовки по специальности 0631 - автоматика и электроника. Все виды электронной и ионной эмиссии изложены в едином методическом стиле...
  • 3,10 МБ
  • добавлен
  • описание отредактировано
Подробнее

Данилин Б.С. Вакуумное нанесение тонких пленок

  • djvu
  • image
  • txt
М.: Энергия, 1967. — 312 с.: илл. В книге рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются современные средства получения и измерения вакуума, а...
  • 4,63 МБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Подробнее

Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6. Минайчев В.Е. Нанесение плёнок в вакууме

  • djvu
В 10-и книгах. — Москва: Высшая школа, 1989. — 110 с.: ил. — ISBN 5-06-000308-6. В книге описаны технологические процессы нанесения тонких пленок в вакууме в производстве полупроводниковых приборов и ИМС: термическое испарение и ионное распыление (в том числе диодное и магнетронное распыление, высокочастотный и реактивный методы ионного распыления). Рассмотрены основы...
  • 1,06 МБ
  • добавлен
  • описание отредактировано
Подробнее

Ярмонов А.Н. Основы вакуумной техники, технологии

  • pdf
Учеб. пособие. – Пермь: Изд-во Перм. гос. техн. ун-та, 2010. – 174 с. – ISBN: 978-5-398-00487-8. Рассмотрены основные виды вакуумных устройств и принципы их действия, методы измерения вакуума и контроля герметичности вакуумных систем, способы производства и свойства материалов для изготовления вакуумных узлов и агрегатов, технологические приложения различных устройств в...
  • 5,61 МБ
  • добавлен
  • описание отредактировано
Наверх