Данилина Т.И., Смирнова К.И. и др. Процессы микро- и нанотехнологии

Томск: ТУСУР, 2004. — 260 с. — ISBN 5-86889-244-5.В монографии рассмотрены технологические основы производства интегральных микросхем (ИМС), в том числе сверхбольших ИМС, отражены вопросы формирования наноструктур и технологии их формирования. Большинство разделов учебного пособия содержит математические модели для инженерных расчётов.
Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» при изучении курсов «Процессы микро- и нанотехнологии» и «Математическое моделирование технологических процессов в микроэлектронике».
Пособие будет полезно для студентов смежных специальностей при изучении курсов «Технологические процессы микроэлектроники», «Нанотехнологии в электронике», а также при выполнении курсовых и дипломных работ.