Лачинов А.Н. Методы диагностики и анализа микро- и наносистем

Учебное пособие. — Уфа: Башкирский государственный педагогический университет, 2013. — 60 с. — ISBN 978-5-87978-817-4.Предназначено для студентов физико-математического факультета, направлений подготовки: 210600 Нанотехнология; 210100 Электроника и наноэлектроника. Рекомендуется в качестве дополнительного материала к курсу лекций по дисциплине «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем». Изучение данной дисциплины направлено на ознакомление с кругом актуальных задач диагностики наноматериалов и систем. Рассматриваются вопросы: основы сканирующей туннельной микроскопии, спектроскопия поверхности, физические основы атомно-силовой микроскопии; свойства поверхности в атомно-силовой микроскопии, контактный и полуконтактный методы исследования поверхности, метод фазового контраста, измерение распределения магнитных и электрических полей, нанооптика и микроскопия ближнего поля.Физические основы сканирующей туннельной микроскопии.
Туннелирование через потенциальный барьер.
Спектроскопия поверхности.
Методы получения атомного разрешения.
Физические основы атомно-силовой микроскопии.
Контактный и полуконтактный методы исследования поверхности.
Неконтактный режим работы АСМ.
Фазовый контраст.
Измерение распределения магнитных полей.
Нанооптика и микроскопия ближнего поля.
Применения нанооптики. Оптические наноантенны 25
Метаматериалы.
Основные параметры материалов и систем, характеризующие степень кристаллического совершенства.
Удельное сопротивление, подвижность, методы определения.
Определение толщины тонких слоев методами интерферометрии и эллипсометрии.
Определение оптических констант и измерение толщин тонких пленок и многослойных тонкопленочных структур.
Исследование структуры наноматериалов и протекающих в них процессов.
Методы рентгеноструктурного анализа; химический (фазовый) анализ методами рентгеновской спектроскопии.
Качественный фазовый анализ.
Рентгеновская спектроскопия поглощения.
Оптическая и колебательная спектроскопия.
Оптическая спектроскопия.
Колебательная спектроскопия (спектроскопия характеристических потерь).
Мессбауэровская (гамма-резонансная) спектроскопия
Литература.