Корзо В.Ф., Курочкин В.А., Дёмин В.П. Плёнки из элементорганических соединений в радиоэлектронике

М., "Энергия", 1973. - 192 с.В книге рассматриваются возможности практического использования в радиоэлектронике неорганических плёнок, получаемых разложением элементоорганических соединений (ЭОС). Основное внимание уделяется анализу возможностей создания активных и пассивных элементов микросхем на основе плёнок из ЭОС, а также решению некоторых специальных задач методами пиролитической технологии.
Книга предназначена для широкого круга специалистов, занимающихся изучением физических и технологических вопросов плёночной электроники, и может оказаться полезной для работников смежных отраслей науки и техники, связанных с проблемами нанесения неорганических плёночных покрытий.Получение плёнок разложением элементоорганических соединений.
Свойства металлических плёнок.
Свойства диэлектрических и полупроводниковых плёнок.
Пассивные элементы и плёночные покрытия из разлагаемых ЭОС.
Активные электронные компоненты на основе пиролитических структур.