Курносов А.И. Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных схем

М.: Высшая школа, 1975. — 342 с.В учебном пособии описаны основные свойства и характеристики полупроводниковых, химических, фотолитографических, конструкционных, защитных, пластмассовых, абразивных, легирующих и вспомогательных материалов, применяемых при производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем. Содержание книги соответствует основным этапам технологии изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем; в каждой главе приведены те материалы, которые используются в конкретном технологическом процессе.Полупроводниковые материалы и их свойства.
Материалы для механической обработки полупроводников.
Химические материалы для обработки полупроводников.
Материалы для фотолитографии.
Материалы для проведения диффузионных процессов в полупроводниках.
Электродные материалы.
Материалы для защиты p-n-переходов от внешних воздействий.
Материалы для пластмассовой герметизации полупроводниковых приборов.
Материалы для конструктивных элементов корпусов полупроводниковых приборов.
Материалы для изготовления пассивных элементов интегральных схем.
Электролиты для осаждения металлических плёнок.
Вспомогательные материалы.
Контроль качества материалов.