Холодкова Н.В., Смирнов С.А. Математическое моделирование технологических процессов

Учебное пособие. — Иваново: ИГХТУ, 2019. — 88 с.В учебном пособии изложены основные подходы к построению математических моделей и этапы математического моделирования. Подробно рассмотрены математические модели технологических процессов производства изделий электронной техники (диффузия, термическое окисление, имплантация), а также кинетика химических реакций. В каждом разделе приведены контрольные вопросы для самоконтроля студентов и расчетные задания для численного решения. В приложении представлены справочные данные, необходимые для выполнения расчетных заданий. Приведен терминологический словарь.
Предназначено для студентов, обучающихся по направлениям 18.03.01 «Химическая технология», профиль «Технология материалов и изделий электроники и наноэлектроники», 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», профиль «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», профиль «Нанотехнологии и микросистемная техника».