Аброян И.А., Андронов А.Н., Титов А.И. Физические основы электронной и ионной технологии

Учебное пособие для студентов ВУЗов специальностей электронной техники. — М.: Высшая школа, 1984. — 320 с.: ил.В книге изложены физические основы взаимодействия ионов и электронов с веществом; рассмотрены возможности применения этих процессов в технологии изготовления приборов, интегральных микросхем на основе полупроводниковых и пленочных материалов и др.Содержание.
Основные явления при взаимодействии ускоренных электронов и ионов с твёрдым телом.
Движение ускоренных электронов в веществе.
Образование радиационных дефектов при облучении ионами.
Изменение электрических свойств твердых тел в результате ионной бомбардировки.
Ионная имплантация в полупроводники.
Модификация свойств твёрдых тел ионной бомбардировкой.
Распыление твёрдых тел ионами.
Движение ускоренных электронов в веществе.
Основы электронно-лучевой обработки материалов.