Трусов Л.И., Холмянский В.А. Островковые металлические пленки

Москва: Металлургия, 1973. - 320 с.Изложены важнейшие проблемы, касающиеся островковых металлических пленок. Описаны закономерности роста и преобразования структуры пленок, а также взаимозависимость изменений структуры и физико-технических параметров пленок. Приведены данные по исследованию электрической проводимости и гипотезы, их объясняющие. Рассмотрены процессы изменения морфологии пленки при конденсации и после нее (перенос материала по поверхности подложки, формоизменение островков) и влияние этих процессов на электрофизические параметры островковых пленок.
Предназначена для научных работников, инженеров и аспирантов-металловедов, металлофизиков, специалистов по электронной технике, занимающихся вопросами физики тонких пленок, микроэлектроники, электронной микроскопии и вакуумной техники.