Свистова Т.В. Методы исследования материалов и структур электроники

Учебное пособие. — Воронеж: Воронежский государственный технический университет, 2013. — 225 с.В учебном пособии рассматриваются методы исследования основных электрофизических свойств полупроводников. Описаны различные способы измерения удельного сопротивления, концентрации и подвижности основных носителей заряда, методы исследования параметров неравновесных носителей заряда в полупроводниках, методы исследования полупроводниковых эпитаксиальных пленок.
Издание соответствует требованиям Федерального государственного образовательного стандарта высшего профессионального образования по направлению 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» (профиль «Микроэлектроника и твердотельная электроника»), дисциплине «Методы исследования материалов и структур электроники».Введение.
Подготовка образцов к измерению.
Измерение удельной электрической проводимости полупроводников.
Гальваномагнитные методы измерения параметров полупроводников.
Оптические методы измерения параметров полупроводников.
Методы исследования электрофизических параметров эпитаксиальных пленок.
Измерение параметров неравновесных носителей заряда.
Методы контроля структуры материалов твердотельной электроники.
Заключение.
Библиографический список.