Конспект лекций. — Омск: ОмГТУ, 2018. — 64 с. — ISBN 978-5-8149-2607-4.
Рассмотрены такие методы исследования, как растровая электронная микроскопия, сканирующая зондовая микроскопия, рентгеновская дифрактометрия и лазерная интерференционная микроскопия. Приведены описания устройств, реализующих данные методы, и принципы работы на них.
Издание предназначено для обучающихся по направлениям 28.03.02 «Наноинженерия», 22.03.01 «Материаловедение и технологии материалов», а также может быть использовано в образовательном процессе студентами технических специальностей и направлений подготовки, изучающими высокотехнологичные методы исследований.