Калинкина М.Е., Пирожникова О.И., Ткалич В.Л., Комарова А.В. Микроэлектромеханические системы и датчики

Учебное пособие. – СПб: Университет ИТМО, 2020. – 75 с.В учебном пособии рассмотрены вопросы актуальных областей применения МЭМС и датчиков, созданных на основе микротехнологий, основные материалы микросенсорной техники, а также элементная база микромеханических приборов, конструкции и принципы работы микромеханических приборов и их измерительные свойства. Предназначено для обучения магистров по направлению подготовки 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств» для образовательной программы «Проектирования киберфизических систем защиты информации» по дисциплине «Микроэлектромеханические системы и датчики».