Бубнов Ю.3., Лурье М.С., Старос Ф.Г., Филаретов Г.А. Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объеме

Москва: Советское радио, 1975. — 160 с.Изложены теоретические основы метода препарирования конденсатов в квазизамкнутом объеме; дана методология инженерных расчетов, приведены экспериментальные зависимости структуры, состава и электрофизических характеристик конденсатов от условий их формирования.
Книга предназначена для инженеров, специализирующихся в области разработки и технологии микроэлектронных элементов, и широкого круга специалистов в области физики полупроводников и технологии тонких пленок, а также научных работников и аспирантов.