Холлэнд Л. Нанесение тонких пленок в вакууме

М.; Л.: Госэнергоиздат, 1962. — 608 с.Книга представляет собой монографию, в которой подробно обобщены и систематизированы методы нанесения покрытий в вакууме: изготовление тонких пленок посредством испарения в вакууме и катодное распыление. Рассмотрены вопросы формирования структуры и физические свойства тонких пленок.
Большое внимание уделено описанию применяемой аппаратуры.
Книга предназначена для специалистов, интересующихся вопросами изготовления тонких пленок.