Марков В.Ф., Маскаева Л.Н. Технология тонкопленочных твердотельных сенсоров

Учебное пособие. — Екатеринбург: Уральский федеральный университет им. первого Президента России Б.Н. Ельцина (УрФУ), 2019. — 148 с. — ISBN: 978-5-7996-2769-0.В учебном пособии даны характеристики и рассмотрены технологические приемы получения тонкопленочных твердотельных сенсоров, их конструкционные особенности, основные параметры, назначение и области их применения. Особое внимание уделено оптическим датчиками и химическим сенсорам, их характеристикам и основным преимуществам. Представлены общие положения и законы распространения ИК-излучения. Рассмотрено использование наноструктурных материалов для создания фотодетекторов и сенсоров различного назначения.
Пособие предназначено студентам высших учебных заведений, обучающимся по направлениям подготовки 18.03.01 и 18.04.01 «Химическая технология». Оно может быть также полезно аспирантам и преподавателям вузов материаловедческих специальностей.