Абрамов А.А., Ковтонюк Н.Ф., Лебедев Е.Н. Рукавишников В.А. Методы получения и свойства пленок двуокиси титана

Обзоры по электронной технике. Серия «Материалы». Выпуск 14 (251). М.: ЦНИИ Электроника, 1974. – 45 с. В обзоре приведен подробный анализ каждого из этих методов и выделены их преимущества и недостатки с точки зрения технологичности и основных свойств получаемых пленок. Показано, что наиболее совершенные пленки можно получать методом термического разложения элементоорганических соединений. Рассмотрены скорости травления пленок TiO₂ в различных травителях и связь ее со структурой пленок. Электрические свойства пленок двуокиси титана значительно зависят от способа получения, а удельное сопротивление изменяется в зависимости от совершенства пленок и стехиометрического состава от 10 до І0¹³ Ом·см. Диэлектрическая постоянная двуокиси титана составляет 20-80 и зависит от способа получения. Пленки двуокиси титана, имеющие высокий коэффициент преломления n=2,2-2,8, широко используются как просветляющие покрытия.Введение
Кристаллическая структура
Методы получения тонких пленок двуокиси титана
Термическое окисление
Вакуумное напыление
Анодное окисление
Окисление TiCl₄ кислородом
Пирогидролиз тетрахлорида титана
Осаждение пленок TiO₂ из растворов органических соединений
Термическое разложение металлоорганических соединений
Травление пленок TIO₂
Электрические свойства
Оптические свойства
Заключение
Список литературы