Смирнов В.И. Физические основы нанотехнологий и наноматериалы

Учебное пособие. — Ульяновск : УлГТУ, 2017. — 240 с.Изложены физические основы нанотехнологий, а также свойства наноматериалов, используемых в электронной промышленности и энергетике.
Особое внимание уделено технологическим аспектам получения наноматериалов, их свойствам и конструктивным особенностям, позволяющим создавать новые элементы наноэлектроники, нанофотоники и микросистемной техники.
Пособие снабжено большим количеством рисунков и цветных фотографий, что облегчает преподавание дисциплины с активным привлечением мультимедийных средств.Введение.
Физические основы нанотехнологий.
История развития и основные направления нанотехнологий.
Квантово-размерные наноструктуры.
Квантово-размерные эффекты в наноструктурах.
Способы формирования квантово-размерных структур.
Инструментарий нанотехнологий.
История создания сканирующего туннельного микроскопа.
Сканирующая туннельная микроскопия.
Атомно-силовая микроскопия.
Магнито-силовая микроскопия.
Электро-силовая микроскопия.
Ближнепольная сканирующая оптическая микроскопия.
Сканирующая зондовая литография.
Контрольные вопросы.
Наноматериалы и технологии их получения.
Классификация наноматериалов и их особые свойства.
Углеродные наноматериалы.
Аллотропные модификации углерода.
Фуллерены.
Углеродные нанотрубки.
Графен.
Производные графена.
Графеноподобные наноматериалы.
Аморфные и нанокристаллические материалы.
Композиционные наноматериалы.
Пористый кремний.
Технологии получения наноматериалов.
Контрольные вопросы.
Заключение.
Библиографический список.
Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.04.03 – «Конструирование и технология электронных средств» и 11.03.04 – «Электроника и наноэлектроника».