Магунов А.Н. Лазерная термометрия твердых тел

Москва: Физматлит, 2001. — 224 с. — ISBN: 5-9221-0222-2.Лазерная термометрия основана на дистанционном измерении температурно-зависимых параметров твердых тел с помощью зондирующего светового пучка и определении искомой температуры по известной температурной зависимости измеренного параметра. Рассматриваются принципы, особенности и ограничения ряда новых методов бесконтактного измерения температуры твердых тел. Проведено сравнение различных лазерных методов по ряду критериев, важных при практическом применении: чувствительности, инерционности, помехозащищенности, производительности измерений, сложности оптической схемы. Лазерная термометрия применяется в условиях, где традиционные методы оказались неэффективными: при взаимодействии газоразрядной плазмы, ионных или лазерных пучков с поверхностью, при нанесении тонких пленок и травлении микроструктур интегральных схем.
Книга адресована специалистам в области термометрии, теплофизики, физики плазмы и газового разряда, плазмохимии, гетерогенного катализа, микроэлектроники, плазменно-пучковых технологий обработки твердого тела.Предисловие.
Термометрия: состояние, проблемы и постановка задачи.
Взаимодействие света с диэлектриками, полупроводниками и металлами.
Температурные зависимости оптических параметров твердых тел.
Лазерная термометрия поверхности.
Термометрия кристаллов по сдвигу края поглощения.
Лазерная интерференционная термометрия полупроводников и диэлектриков.
Термометрия по комбинационному рассеянию света и фотолюминесценции.
Заключение.
Список литературы.