Плеханов В.П., Сутулин С.Н., Осадчев Л.А., Верещагин В.И., Сергеев А.Н. Протонные процессы в оксидных слоях и пленках

Москва: ЦНИИ Электроника, 1988. — 62 с. — (Обзоры по электронной технике. Серия 6. Материалы. Выпуск 1 (1336)).Рассмотрены экспериментальные результаты протонирования из расплавов органических кислот приповерхностных слоев и конденсированных пленок оксидов элементов II—VI групп, современные представления о разупорядоченности оксидов вблизи границ раздела и закономерности диффузии из различных источников.
Приведены физико-химические аспекты основных стадий протонирования и селективного травления оксидных слоев и пленок. Показано применение протонирования в технологии планарных оптических устройств.
Составлен по материалам отечественной и зарубежной литературы за 1977—1987 годы.
Для специалистов, инженеров-технологов, преподавателей, аспирантов и студентов.Введение.
Разупорядоченность оксидов в приповерхностных слоях и конденсированных пленках.
Диффузия в оксидных слоях и пленках.
Особенности диффузии протонов.
Селективное травление.
Применение протонирования в технологии планарных оптических устройств.
Заключение.
Литература.