Дубовой Н.Д., Осокин В.И., Очков А.С., Бочкова Т.В., Сазонов А.А. Измерения и контроль в микроэлектронике

М.: Высшая школа, 1984. — 367 с.В книге рассматриваются основные контрольно-измерительные операции, методы и средства контроля, используемые при производстве интегральных микросхем.Измерение, контроль и испытания ИМС. Основные понятия и определения.
Предисловие.
Введение.
Технология производства ИМС.
Контрольно-измерительные операции при производстве ИМС.
Методы измерения и контроля параметров технологических сред, полупроводниковых пластин, эпитаксиальных и полупроводниковых структур.
Общие методы измерения и контроля электрических параметров ИМС.
Технические (аппаратные) средства автоматических систем измерения и контроля электрических параметров ИМС.
Программное обеспечение автоматических систем измерения и контроля электрических параметров ИМС.
Методы контроля цифровых ИМС.
Методы контроля ИМС ЦАП и АЦП.
Примеры автоматического оборудования контроля ИМС.
Список литературы.