Калинин С.В. Физические основы микроэлектроники

Новосибирск : СибГУТИ, 2007. — 89 с.Микроэлектроника – область электроники, объединяющая комплекс физических, радиотехнических и технологических проблем, направленных на создание сложных электронных схем для обработки и передачи информации, выполненных интегрально на едином основании, заключенном в корпус. Фактически микросхемы создаются на отдельном кристалле – чипе, как правило, кремниевом, и состоят из дискретных элементов, взаимодействующих между собой только через систему специально созданных связей – межсоединений, которые однозначно определяют функциональные свойства интегральной схемы. Работа современной микроэлектроники основана на использовании микросхем и их изготовлении с помощью интегральной планарной технологии, позволяющей в едином технологическом маршруте создать большое количество однотипных элементов (как правило, транзисторных структур) в приповерхностной области или на поверхности твердых тел и их соединений, рисунок которых создается специальной технологической операцией– фотолитографией.
Первая интегральная схема – автогенератор с фазовой автоподстройкой частоты – была создана в 1959г. инженером Килби, которому за это революционное изобретение в 2000г. была присуждена Нобелевская премия. Промышленный выпуск интегральных схем начался в мире с 1961г., а в СССР – с 1964г., когда были выпущены ИМС «Тропа» с 20 элементами на кристалле