Кочкин Ю.Н. Оксидное стекло в интегральной оптике

Москва: ЦНИИ Электроника, 1974. — 18 с. — (Обзоры по электронной технике. Серия 3. Микроэлектроника. Выпуск 4 (261)).В работе дается описание некоторых устройств интегральной оптики. Рассмотрены технологические приемы создания таких устройств из тонких пленок оксидного стекла. Перечислены требования к стеклу, используемому в качестве активных и пассивных элементов.
Обзор предназначен для инженерно-технических работников, занимающихся технологией изготовления оптоэлектронных устройств.Введение.
Некоторые элементы интегральной оптики.
Требования к стеклу в интегральной оптике.
Заключение.
Литература.