ПІ 1.4.32-185-2001 Примірна інструкція з охорони праці при обслуговуванні установок газотранспортного осаджування кремнію

Державний комітет промислової політики України. — Затверджено наказом Державного комітету промислової політики України від 26.06.2001 №255. — Київ. — 31 с.Ця примірна інструкція встановлює загальні вимоги безпеки для персоналу, який забезпечує підготовку та обслуговування установок піролітичного осаджування кремнію та його сполук для проведення технологічних процесів. Вона може бути використана як основа для розробки інструкцій, що діють на підприємствах по виробництву продукції мікроелектроніки.Загальні положення.
Вимоги безпеки перед початком роботи.
Вимоги безпеки під час роботи.
Вимоги безпеки після закінчення роботи.
Вимоги безпеки в аварійних ситуаціях.