Ваrанов В.И. Интегральные тензопреобразователи

М.: Энергоатомиздат, 1983. - 136 с., ил.Представлено одно из новейших направлений в создании пролупроводниковых тензометрических измерительных преобразователей, основанное на использовании технологии микроэлектроники. Рассмотрены физические , технологические и схемотехнические вопросы разработки интегральных тензопреобразователей.
Для специалистов, работающих в области измерительной техники, автоматики и полупроводниковой электроники, а также для аспирантов и студентов соответствующих специальностей.