Ильичев Э.А. Экспериментальные методы исследования и основы метрологии нанообъектов

Учебное пособие. — М.: МИЭТ, 2011. — 256 с. — ISBN: 978-5-7256-0658-4
Изложены основные вопросы метрологии с акцентом на ее прикладные аспекты. Представлен и разобран ряд методически и практически важных экспериментальных методов и измерительных методик. Значительное внимание уделено постановке эксперимента, процедурам и схемам измерений, анализу причин и физических эффектов, влияющих на точность измерений, определяющих их корректность. Должное внимание уделено измерениям низкоэнергетических и ноноразмерных объектов.
Разработано для основной образовательной программы подготовки бакалавров по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника», соответствующей тематическому направлению деятельности ННС «Наноэлектроника».
Для студентов и аспирантов физических и технических вузов.